1.上流側流量制御MKSバルブ
要旨：米国 MKS 社の 148J，248A，154A シリーズの上流側流量制御弁と 244，250，946，651 シリーズのコントローラをベースとする。本稿では，これに対応する現地化代替製品である電子制御ニードルバルブと多機能高精度コントローラを紹介する。また、現地化代替品の対応する特性や技術指標を紹介する。
MKS上流流量制御弁は、図1に示すように、真空電磁比例弁の一種であり、製品の3つのシリーズがあります。(1）148Jオールメタル流量制御弁：メタルシール、流量範囲0.01〜20L/min.(2）154B大型流量制御弁：ゴムシール、流量範囲20〜200L/min。(3) 248D 普遍的なフロー制御弁: ゴム製シール、流れの範囲 0.01~50L/min.。

2.MKS 流量・圧力コントローラ MKS の流量・圧力コントローラは，図2に示すように PID コントローラの一種であり，主に以下の 4 シリーズを有している．
(1) 244シリーズ：手動PID制御、シングルチャンネル制御、各種センサーに適合、0~10VDC入力信号、手動/自動/外部制御モード、精度はフルスケールの0.25%、複数の設定点（3または4）、制御偏差インジケータ。このモデルシリーズのコントローラは現在生産中止となっています。
(2) 250シリーズ：手動PID制御、シングルチャンネル制御、様々な真空センサーに適合、0~10VDC入力信号、手動/自動/外部制御モード、精度はフルスケールの0.25%、最大4つのセットポイント、外部プログラミング設定、測定値と制御偏差値をデジタル表示します。このシリーズのコントローラは現在生産中止となっています。
(3) 946シリーズ：自動PID制御、16ビットA/D獲得、6チャンネル制御、様々な真空センサーに適しています。同時に6つのセンサー信号を監視することができ、0~10VDC入出力信号、手動/自動/外部制御モード、内部プログラミング、測定値および制御偏差値のデジタル表示、12ウェイリレー出力、RS232/485通信。
(4) 651シリーズ：自己調整型高速PID制御、16ビットA/D取得、シングルチャンネル制御、各種真空センサーに適合、0〜10VDC入出力信号、手動/自動/外部制御モード、繰り返し性は±0.1%のフルスケール、外部プログラミング、測定値のデジタル表示、マルチチャンネルI/Oインタフェース、RS232/485通信。

3. MKSソレノイドコントロールバルブから直接置き換わる局所電子制御ニードルバルブ
MKSの上流側の流量制御弁は、従来の電磁弁です。電磁弁の最大の問題は、ヒステリシスが比較的大きいということです、それは明らかに直線性と制御精度に影響を与えます。これらの制御弁の全体的な価格は比較的高いですし、対応するローカルブランドはありません。上流の流量制御弁のローカルな置き換えに到達し、コスト効率を改善するために、我々はニードルバルブ技術で電磁弁を置き換えるためにステッピングモータを使用して、異なる流量で電子制御ニードルバルブのシリーズを開発しています。図3、図4に示すように、局所化の置き換えは十分に達成された。
ぜひご覧ください。 https://www.genndih.com/proportional-flow-control-valve.htm

モデル	FC-20	FC-120	FC-300	FC-1000
バルブタイプ	ニードルバルブ
ドライバー	バイポーラステッピングモータ制御
応答速度	0.8秒（開→閉）
標準サイズ	G 1/8"	G 3/8"
フルード	不活性ガスおよび液体 圧力
レンジ	-1～7 気圧	-1～5 気圧
流量範囲	3× ~75L/分	0.01〜30L/min	0.2〜200L/min	0.1〜50L/min
最大流量	50L/min @7bar	240L/min @7bar	290L/分 @7bar	600L/分 @7bar
リニアリティ	2%	0.1 ~ 1%	0.2 ~ 5%	11%

 

再現性 (フルスケール)	1%
流量分解能（ステップ長）	0.1L	0.1 ~ 0.2L	0.2 ~ 0.75L	1L
シフト解像度	12.7 um	25.4 um
動作温度範囲	0 ~ 84ºC
シール	標準的なFKMや他のシールも選択可能
制御信号	DC：0〜10V（または4〜20mA）
電源	DC: 24V (12W)

4.MKSコントローラから局所高精度PIDコントローラに置き換わる
MKSのガス流量・圧力制御は専用コントローラーで、真空分野のガス流量・圧力制御しか満たせません。非常に強力ですが、その分高価になります。ローカライズに置き換えたPIDコントローラは、より精度の高い24ビットA/Dコレクタを採用しています。このコントローラは、より汎用性が高く、図5に示すように、温度と真空圧力の同時制御に到達することができます。主な特長は以下の通りである。
(1) 高精度：24ビットA/Dアクイジション、16ビットD/Aアウトプットを実現。
(2) マルチチャンネル：1chと2chが独立したもの。
(3）多機能。47 種類の入力信号（熱電対、熱抵抗、DC 電圧）は異なった変数の同時テスト、表示および制御に達することができ順方向およびリバース制御（対面制御モード）を行うことができます。
(4) PID制御。改良型PIDアルゴリズムにより、PV差動制御、差動進相制御をサポート。20グループのグループPID、グループ出力リミッタ機能。
(5) デュアルセンサー切り替え：各チャンネルは、高温・低温、高真空・低真空のデュアルセンサー切り替えに対応します。2チャンネルで合計4つのセンサーを接続し、制御のコンビネーションを構成することができます。
(6）プログラム制御: サポート 20 プロセス カーブ、50 の区分とのそれぞれは、内部周期およびカーブ周期を支えます。