電子式真空調整器(0〜-100kpa)

電子式真空調整器(0〜-100kpa)

QKL-B3V-ENG_202201

KaoLuの電子式真空調整器QKL-B3Vは、インライン型真空調整器の一種です(下図動作模式図)。一方のポートは真空源に接続され、もう一方のポートはチャンバーに接続されています。この精密真空レギュレーターは電子的に動作し、様々な入力条件にもかかわらず、最高レベルの均一な真空圧を調整します。真空レベルは、真空圧制御装置への電子コマンド信号に直接リニアに比例します。0-10Vが0〜(-)14psigに対応する場合、デジタル真空レギュレーターへの5VDCコマンド信号は、(-)7psigの真空圧を発生させます。電子式真空調整弁QKL-B3Vの流量は、640L/minです。それ以上の流量が必要な場合は、負圧レギュレータにボリュームブースターを接続することが可能です。デジタル真空レギュレーターQKL-B3Vは、アナログまたはデジタル制御信号により真空レベルを調整することができます。このレギュレーターは自己復帰型ではなく、目標真空レベルに到達するために余分な空気を排出することはありません。モニター出力は、アナログ出力とスイッチ出力があります。