我々は、同様の結果を得るために、レーザーチャージングチャンバー圧力制御のデモを行っています。3ステーションのKLPV-MN(マニホールドマウント)圧力制御アセンブリは、固定された(そして既知の)オリフィスに3つの異なるガスを制御しています。固定オリフィスへの圧力を変化させることにより、流量を変化させ、予測可能で再現性のある結果を得ることができます。このアプリケーションでは、QKLの電子圧力レギュレータが、チャージングチャンバー内の真空レベルを正確に制御することで、混合を補助しています。QKLは真空レベルの制御にも使用することができます。
当社の比例圧力レギュレータは、大流量、高速応答、高精度のため、この用途に最も適しています。当社のレギュレータは、2barから65barまで、0.25% FSの精度で変調することが可能です。(ご要望に応じて、より高い圧力範囲をカスタマイズすることができます。)
QKL電子圧力調整器は、直接交換することができます。
プロポーションエア(QB3H、QBS、GX、QBX、QPV、QB2 )、フエスト(VPPM、VPPL、VPPE、VEAA、VEAB、VEMD )、SMC(ITV1000、ITV2000、ITV3000)、クリパード(Cordis)、ASCO(Sentronic)。