Localized Electronic Air Flow Control Valve

Localized Electronic Air Flow Control Valve

INFICON VDE016 ve Pfeiffer EVR116 gaz kontrol valfleri ve PID kontrolörlerinin yerelleştirilmiş alternatifleri
Özet: Sadece INFICON'un VDE016 ve Pufu'nun EVR116 gaz kontrol vanaları ile değil, aynı zamanda INFICON'un VCC500 ve Pufu'nun RVC300 kontrolörleri ile de karşılaştırılmıştır. Bu makalede, elektronik hava akış kontrol valfleri ve çok fonksiyonlu yüksek hassasiyetli PID kontrolörleri için karşılık gelen yerli alternatif ürünler tanıtılmaktadır. Yerelleştirilmiş alternatif ürünlerin ilgili özellikleri ve teknik göstergeleri tanıtılmaktadır.

1.Genel Bakış
INFICON'un VDE 016 ve Pfeiffer'ın EVR 116'sının gaz kontrol vanaları aslında aynı kontrol vanalarıdır, ancak OEM'ler farklıdır. Şekil 1'de gösterildiği gibi, bu gaz kontrol valfi, harici kontrol sinyalini belirtilen valf iğnesi konumuna dönüştürebilen, böylece gaz akış kontrolü elde etmek için valf açılma derecesini ayarlayabilen bir step motor tarafından tahrik edilen iğne şeklinde bir valftir. Üç tip harici kontrol sinyali olabilir:
(1) DC analog gerilimi (0 ~ 10VDC)
(2) Arayüz Modülü
(3) RS232 Arayüzü
Bu gaz kontrol valfi için INFICON ve Pfeiffer, Şekil 2'de gösterildiği gibi eşleşen bir kontrolör sağlar. Model: INFICON: VCC500-Z; RVC 300.
Bu makale, yukarıdaki kontrol vanaları ve kontrolörleri için ilgili teknik göstergeleri tanıtacak ve yerelleştirilmiş ikame için uygun maliyetli ürünler sağlamak üzere ilgili yerelleştirilmiş ikame ürünlerini ve teknik göstergelerini tanıtacaktır.

2.Yabancı ürünlerin teknik göstergeleri
2.1 Gaz kontrol vanası özellikleri
INFICON ve Pfeiffer kontrol vanalarının performans parametreleri Tablo 1'de gösterilmiştir ve teknik göstergeler Tablo 2'de gösterilmiştir.

2.2 Kontrolör Teknik Göstergeleri
INFICON ve Pfeiffer için kontrolör performans teknik özellikleri Tablo 3'te gösterilmiştir.

Çalışma Kipi Basınç kontrolü, gaz akış regülasyonu
Analog çıkış 4 kanal: vakum basınç sensörü sinyali, valf sinyali (0-10VDC), valf konumu, + 10VDC referans voltajı (10mA)
Dijital çıkış 8 kanal: açma valfi, kapama valfi, valf konumu, valf hatası, sensör hatası, hazırlık, sapma, sensör durumu
Analog giriş 2 kanal: vakum basıncı ayar noktası (standart değer), akış ayar noktası (standart değer)
Dijital giriş 8 kanal: akış azaltma, akış ekleme, dış kapalı, dış açık, akış modu, basınç modu, deşarj açma, egzoz açma
Özellikler Elektrik kesintisinden sonra, toleransı ayarlamak için "standart değere ulaşın" çıkışını açın
Görüntüleme Birimi Mbar, Pa, Torr, MV
Dil İngilizce, Almanca
Iletişim arayüzü RS232C, RS485

 

Denetleyici Tipi PI Otomatik: İsteğe bağlı hız kontrol adımları 1-99
PID: Kullanıcı parametreleri tanımlayabilir
Kontrol hassasiyeti ± 51 TP 1 T FS Sensör
Ekran Hassasiyeti ± 0.21 TP1T FS Sensör
Güç kaynağı Gerilim 90 ~ 250VAC
Ağırlık 1. 65 kg

Yukarıdaki denetleyici teknik özelliklerinden ve pratik uygulama deneyiminden, INFICON ve Pfeiffer denetleyicilerinin aşağıdaki eksikliklere sahip olduğu bulunmuştur:
(1) Tek kanallı ölçüm ve kontrol: yani sadece bir vakum ölçer sinyali ve bir kontrol valfi toplanabilir. Birden fazla analog ve dijital giriş ve çıkış kanalı olmasına rağmen, yalnızca bir kapalı döngü kontrolü gerçekleştirilebilir. Bu tek kanallı kontrolör, kapsamak için iki vakum ölçer gerektiren geniş bir aralığı kapsayamaz.
(2) PID kendini ayarlama fonksiyonu yok: INFICON ve Pfeiffer kontrolörlerinin en büyük dezavantajı, PID parametresi kendini ayarlama fonksiyonunun olmamasıdır, bu da pratik uygulamalarda rahatsızlığa neden olur ve kullanıcının kendi başına uygun PID parametrelerini bulmasını gerektirir. Bazen kontrol etkisini ciddi şekilde etkileyen optimal PID parametreleri elde edilemez.
(3) Zayıf kontrol hassasiyeti: Kontrol hassasiyeti tam ölçekli bir sensörün ± 5%'sidir, bu da kontrolördeki toplama ve kontrol devresinin kontrol hassasiyetini belirlemenin anahtarı olan 12 bit A/D ve D/A dönüştürücüler kullandığını gösterir.

3.Test kaydı Elektronik hava akış kontrol valfi INF DeğiştirBenCON ve PFA kontrol vanaları
INFICON ve Pfeiffer kontrol valfleri tipik step motorlu elektronik hava akış kontrol valfleridir. Performans göstergeleri çok üstündür. Tek dezavantaj, iğne valfinin açılma derecesinin küçük olması ve bu da küçük bir akış hızına neden olmasıdır. Ayrıca, fiyat çok pahalı.
Gaz akış kontrol valfinin değiştirilmesini sağlamak ve düşük maliyeti ve yüksek performansı artırmak için, yüksek yol ayrıca lokalizasyon için iğne valfi teknolojisinde step motoru kullanır ve farklı akışlara sahip bir dizi elektronik hava akış kontrol valfi geliştirir. Şekil 3'te gösterildiği gibi, ikamesi tamamen gerçekleştirilmiştir ve fiyat yabancı ürünlerin sadece üçte biridir. Ayrıntılı teknik göstergeler Şekil 4'te gösterilmektedir. Lütfen ziyaret edin https://www.genndih.com/proportional-flow-control-valve.htm


(Şekil 3 Kaolu Company FC tipi elektronik hava akış kontrol valfi)

Model FC-20 FC-120 FC-300 FC-1000
Valf tipi Iğne valfi
Makara sürüklenme çapı 0. 9 mm 2. 25 mm 2. 75 mm 4. 10 mm
Uygulayıcı kurum Bipolar step motor kontrolü
Tepki süresi 0. 8 saniye (açık-kapalı)
Standart Boyut G1/8 " G3/8 "
Sıvı İnert gazlar ve sıvılar
Temas malzemesi Paslanmaz çelik
Basınç aralığı -1-7 bar -1 ~ 5 bar
Azami akış 50L/ dak @ 7bar 240L/ dak @ 7bar 290L/ dak @ 7bar 600L/ dak @ 7bar
Doğrusallık ± 21 TP 1 t ± 0.1 ~ 1% ± 0.2 ~ 5% ± 11%
Tekrarlanabilirlik
(Tam boyut)
±. 11 tp1t
Akış çözünürlüğü (adım boyutu) 0.1 litre/ dk 0.1 ~ 0.2L/dak 0.2 ~ 0.75L/dak 1L/dak
Kaydırma çözünürlüğü (adım boyutu) 12. 7um 25.4um
Çalışma sıcaklığı aralığı 0 ~ 84 °C
Conta Standart FKM veya diğer seçilmiş contalar
Kontrol sinyali DC: 0 ~ 10V (veya 4 ~ 20mA)
Güç kaynağı DC: 24V (12W)

(Şekil 4 Kaolu'nun FC tipi elektronik hava akış kontrol valfinin teknik özellikleri)

3.INFICON ve PFA denetleyicilerinin yerini alan yerli yüksek hassasiyetli çift kanallı PID denetleyicileri
Vakum göstergelerinin (kapasitör film basınç göstergeleri gibi) ölçüm hassasiyetinden tam olarak yararlanmak için, kontrolörün veri toplama ve kontrolü en az 16 bit analog-dijital ve dijital-analog dönüştürücüler gerektirir. Son yıllarda, Kao Lu, Şekil 5'te gösterildiği gibi FC serisi yüksek hassasiyetli 24 bit evrensel PID kontrolörünü geliştirdi. Bu PID kontrolör serisinin performansı yabancı ürünlerinkinden çok daha yüksektir, ancak fiyat yabancı ürünlerin sadece sekizde biridir. Temel performans göstergeleri aşağıdaki gibidir:
(1) Hassasiyet: 24 bit A/ D, 16 bit D/A.
(2) Çok kanallı: Bağımsız 1 veya 2 kanallı. 2 kanal, sıcaklık ve basıncın eşzamanlı ölçümünü ve kontrolünü gerçekleştirebilir.
(3) Çoklu çıkış parametreleri: 47 çeşit giriş sinyali (termokupl, termal direnç, DC gerilimi) farklı parametrelerin eşzamanlı olarak test edilmesini, gösterilmesini ve kontrol edilmesini sağlar.
(4) Çok fonksiyonlu: ileri, geri, ileri ve geri çift yönlü kontrol.
(5) PID kontrolü: Geliştirilmiş PID algoritması PV diferansiyel ve diferansiyel ileri kontrolü destekler. 20 grup PID var.
(6) Çift sensörlü anahtarlama: Her kanal yüksek ve düşük sıcaklık, yüksek ve düşük vakum çift sensörlü anahtarlamayı destekleyebilir. İki kanal, toplam dört sensörü bağlayan bir kontrol kombinasyonu oluşturabilir.
(7) Program kontrolü: 20 adede kadar yoğuşma programı kendi başınıza oluşturulabilir ve saklanabilir ve yoğuşma sadece bir çağrı seçilerek başlatılabilir (program kontrol modu).

Vakum kontrolünde, aşağı akış kontrol yöntemi atmosfer basıncına yakın vakum derecesi için daha uygunken, 10 mbar'dan az vakum kontrolü yukarı akış emme kontrol yöntemi gerektirir. Bu nedenle, vakumun tam kontrol derecesini karşılamak için, Şekil 6'da gösterildiği gibi çift sensörlü çift yönlü kontrol yöntemi benimsenebilir.
Şekil 6'da gösterilen kontrol modunda, yukarıdaki FC-20 serisi çift kanallı kontrolörün ileri ve geri kontrolünü ve çift sensörlü otomatik anahtarlama fonksiyonunu, yani farklı hava basıncı kontrol işlemlerinde kullanmak gerekir; Kontrolör otomatik olarak ilgili aralığı değiştirir. Vakum ölçer ve kontrol için ilgili elektronik hava akış kontrol valfini seçin.