Precision Control Technology of Vacuum in Micro-Displacement and Inclination Measurement of Michelson Laser Interferometer sensor

Özet: Michelson lazer interferometre sensörlerinin hassas mikro yer değiştirme ve eğim ölçümünde, vakum derecesinin hassas bir şekilde kontrol edilmesi gerekir; Aksi takdirde, deformasyon, kırılma indisi ve sıcaklık gibi faktörler büyük dalgalanmalara neden olabilir ve hatta ölçümü imkansız hale getirebilir. Vakum derecesinin otomatik kontrolünü gerçekleştirmek için elektronik akış kontrol valfini kullanma teknolojisi tanıtılır ve spesifik uygulama şeması ayrıntılı olarak tanıtılır.

1.Soru
Michelson lazer interferometre sensörü, yüksek hassasiyetli bir optik alet olarak yaygın olarak kullanılmaktadır. Bir gazın veya sıvının dalga boyunu, kırılma indisini, kalınlığını, yer değiştirmesini ve eğimini ölçmek için kullanılabilir. Michelson lazer interferometre sensörleri uzunluk, hız, açı, düzlük, düzlük ve dikeylik gibi yüksek hassasiyetli ölçümleri ölçebilir. Bununla birlikte, yüksek hassasiyetli ölçümlerde, Michelson lazer interferometre sensörleri atmosferik ortamdan ciddi şekilde etkilenir. Bu nedenle, ölçülen nesne genellikle Şekil 1'de gösterildiği gibi düşük basınçlı bir vakum ortamına yerleştirilir Vakum derecesi bir elektronik akış kontrol valfi ile hassas bir şekilde kontrol edilir, aksi takdirde aşağıdaki sorunlara neden olur:
(1) Test ortamındaki gazın kırılma indisindeki dalgalanmalar yüksek hassasiyetli ölçümler üzerinde ciddi bir etkiye sahip olabilir. Özel bir gaz kırılma indisi düzeltme cihazı kullanılırsa, ölçüm hassasiyeti sadece mikron veya mikron altı seviyeye ulaşabilir ve daha yüksek hassasiyetli ölçüm elde edilemez.
(2) Vakum odasının sıcaklığı değişirse, odadaki hava basıncı da büyük ölçüde değişecektir. Karşılık gelen kırılma indisi de keskin bir şekilde dalgalanacak ve bu da interferometre ölçümünü ciddi şekilde etkileyecektir.
(3) Vakum çıkarma işlemi sırasında, iç ve dış basınç farkı vakum odasında mikro deformasyona neden olur ve ayrıca optik pencerenin kaymasına ve eğilmesine neden olur, böylece ölçüm optik yolunun optik yolu değiştirilir.
(4) Sıcaklık değiştirme gereksinimi olan bazı test alanlarında, ölçülen nesnenin mümkün olan en kısa sürede ısıtılması ve sıcaklığın eşit olması gerekir, bu da konveksiyon ve ısı iletme kapasitesini korumak için vakum derecesinin yaklaşık 100 Pa gibi belirli bir seviyede kontrol edilmesini gerektirir.

Özetle, Michelson lazer interferometre sensörünün mikro yer değiştirmesinin ve eğiminin hassas ölçümünde, vakum derecesini doğru bir şekilde kontrol etmek gerekir. Bu makale vakum derecesinin otomatik kontrol teknolojisini ve özel uygulama şemasını tanıtacaktır.

2.Uygulama planı
Michelson lazer interferometre sensörü testi sırasında, vakum derecesi genellikle sıcaklıkla değişmeden yaklaşık 100 kPa'da sabit kalır. Bu nedenle, Şekil 2'de gösterilen vakum kontrol sisteminin bir elektronik akış kontrol valfi ile uygulanması tavsiye edilir, özel durum aşağıdaki gibidir:
(1) Vakum ölçümü için 1 torç aralıklı kapasitif vakum ölçer kullanılır ve doğruluk ± 0.2%'ye ulaşabilir.
(2) Yüksek hassasiyetli PID vakum basınç kontrolörü, kontrol hassasiyetini sağlamak için yüksek hassasiyetli vakum basınç sensörünün ölçüm hassasiyeti ile eşleşen 24 bit A/D elektronik akış kontrol valfi ile kullanılır.
(3) Emme akışını hassas bir şekilde ayarlamak için vakum odasının hava girişine bir step motor oransal valfi takın.
(4) Kontrol sırasında vakum pompası açıldıktan sonra tam hızda pompalanır ve pompa hızı sabit tutulur. Daha sonra kontrolörün PID parametreleri kendi kendine ayarlanır, böylece kontrolör, odanın vakum derecesinin hassas kontrolünü sağlamak için FC serisi elektronik akış kontrol valfinin mikro açılma derecesini otomatik olarak ayarlayabilir.

Daha fazla bilgi için lütfen ziyaret edin https://www.genndih.com/proportional-flow-control-valve/mid-flow-proportional-valve-0-130L-min.html