Kütle akış kontrolörü

1970'lerden bu yana, kütle akış kontrolörleri verimlilik ve kapasite açısından büyük ilerleme kaydetmiştir. 1980'lerde yarı iletken endüstrisi kontrolörlerin en büyük tüketicisiydi. Daha sonra 1990'larda üreticiler daha fazla endüstriyel uygulamaya uyum sağlamak için onları daha dayanıklı hale getirmeye başladılar. 21. yüzyılın başlarında, farklı gaz türlerini ölçmek için dijital veri yolu protokolleri ve kontrolörleri tanıtıldı. Kütle akış kontrolörleri artık araştırma tesisleri, pilot tesisler ve sürekli süreçler gibi uygulamalara yardımcı olmaktadır. Diğer her şey gibi, kütle akış kontrolörleri de artan talebi karşılamak için sürekli gelişiyor ve değişiyor.

Kütle akış kontrolörünün rolü

Akış kontrol cihazında, kütle akış kontrolörü hem akışı kontrol edebilen hem de ölçebilen özel bir kontrol cihazıdır. Çoğu akış kontrolörünün akışı düzenleyen bir kontrol valfi vardır, ancak akışın kendisini ölçmenin bir yolu yoktur. Bu nedenle, birçok akış kontrol valfi doğal histerezise sahiptir. Histerezis fenomenini ortadan kaldırmak ve akışı farklı sıcaklık ve basınçlarda stabilize etmek için kütle akış kontrolörü mükemmel bir çözümdür.

Çoğu kütle akış kontrolörü temel termal prensiplere dayanır, ancak çoğu insan bunları egzoz gazı ve baca ölçümleri için kullanılan geçmeli akış ölçerlere benzer şekilde termal olarak dağılmış akış ölçerler olarak düşünmez. Bunun yerine, akışı küçük çizgi boyutlarında ölçerler-ana hava akışından akan daha küçük gaz örnekleri. Profesyoneller bunların büyük çoğunluğunu çok az miktarda gaz ve sıvı akışını ölçmek için kullanırlar.

Kütle akış kontrolörü prensibi

Kütle akış kontrolörümüzün tüm versiyonları histerezisi ortadan kaldırmak için aynı genel yaklaşımı kullanır: kapalı döngü akış kontrolü oluşturarak ve cihazın aşağı akış akış çıkışındaki dinamik değişikliklere yanıt vererek. Dahili PID kontrolörü dinamik olarak akım çıkışını temsil eden bir geri besleme sinyaline ayarlanır. Geri besleme sinyali, bir sıcak tel anemometre ve bir termistör kullanarak kütle akışının doğru bir şekilde okunmasını sağlayan dahili bir kütle akış sensörü tarafından sağlanır.